ごく小さく目に付きにくいさま。わずかな点や細かい部分を指すことが多い（「細微な違い」など）。
結果には細微な差異が見られたが、全体の傾向は同じだった。
細微な点まで注意を払ってチェックする必要がある。
細微な傷でも古美術品の価値に影響することがある。